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微电子学院创新港系列讲座
发布时间  :  2019-11-19点击量  :  

讲座题目:微波毫米波频段导电薄膜电导率测量研究

报 告 人:叶鸣 副教授

讲座时间:201911719:00-20:30

讲座地点:创新港5号巨构5-1005教室

组织者:西安交通大学微电子学院

讲座摘要:

随着集成电路技术的进一步发展,高速互连技术成为实现高性能集成电路最具挑战的技术之一。相比于低频应用而言,工作于微波毫米波频段的导电薄膜的导电性能可能显著区别于块状导体材料,其中重要的影响因素至少包括以下两个方面:一是由于薄膜制备工艺自身特殊性导致薄膜电导率通常小于块状材料电导率,另一方面则是由于表面粗糙度的存在导致高频条件下材料等效电导率小于理想光滑情形。基于此,开展微波毫米波频段的导电薄膜电导率测量研究具有重要研究意义。本报告主要介绍微波圆柱谐振腔法和毫米波准光腔法两种导电薄膜电导率测量的原理及装置。

报告人简介:

 叶鸣 博士,http://gr.xjtu.edu.cn/c/document_library/get_file?folderId=2443105&name=DLFE-90100.jpg副教授,博士生导师。2014年毕业于西安交通大学电子科学与技术专业,获博士学位(师从贺永宁教授),后留校任教,2017年晋升为副教授。20167月至20177月国家公派至加拿大阿尔伯特大学任访问学者,从事微波测量与传感器研究。先后主持国家自然科学基金2项、国家重点实验室开放课题1项、上海航天研究所委托课题1项,在Journal of Applied PhysicsIEEE MWCL、物理学报等国内外期刊发表论文多篇,申请/授权发明专利多项。